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科学家成功研造1.5英寸石墨烯单晶
2015-11-26


记者近日从中科院上海微系统与信息技术钻研所获悉,该所信息职能资料国度沉点尝试室钻研员谢晓明辅导的石墨烯钻研团队在国度沉大专项“晶圆级石墨烯资料和器件基础钻延妆等项主张支持下,在国际上初次实现石墨烯单核节造形核和急剧成长,成功研造1.5英寸石墨烯单晶,有关钻研成就在线颁发于《天然—资料》 。


铜表表催化成长是目前造备石墨烯薄膜的重要技术蹊径,但由于无法实现单核节造,因而造备的薄膜通常为多晶,且成长速度随着功夫的推移逐步变慢 。此前铜衬底上造备的最大石墨烯单晶筹尺寸约为一厘米,且必要较长的成长功夫 。谢晓明钻研团队通过向拥有肯定溶碳能力的Cu85Ni15合金局域提供碳源,产生部门碳浓度过鼓和,成功解决了石墨烯单个主题节造形核这一技术难题 。


据悉,该项主张合作团队美国得州州立大学的于庆凯团队利用同位素步骤验证了等温析出这一石墨烯成长新机理;香港理工大学教授丁峰和华东师范大学博士袁清红结合发展了第一性道理推算,进一步诠氏缢Cu85Ni15合金衬底上石墨烯高速成长的原因,同时对更高Ni含量合金衬底上石墨烯成长速度降落的原因进行了分析 。


谢晓明暗示,单晶硅是微电子技术发展的基石,而单晶石墨烯则是其在电子学领域规;玫那疤 。“通过单核节造造备晶圆级石墨烯能够视为是三维硅单晶技术在二维资猜中的再现,对于推动石墨烯在电子学领域的应器拥有沉要意思 。”


专家以为,这项钻研成就所发展的节造形核技术同时也为索求其他二维资料单晶晶圆的造备提供了全新思路 。

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